固高科技：公司于23年上半年有获批一项关于半导体设备运动轨迹规划的专利《光刻机运动轨迹规划方法、装置、计算机设备和存储介质》
- 来源：同花顺iNews
- 时间：2023-09-08 16:30:43
【资料图】
同花顺（300033）金融研究中心9月8日讯，有投资者向固高科技（301510）提问， 您好！公司已经取得一种光刻机运动轨迹规划方法的专利，请问贵公司在光刻机领域是否取得了一定的研究成果，还望不吝分享出来，谢谢！
公司回答表示，半导体相关设备一直是公司技术、产品的一个重点应用领域。公司在半导体后封装相关设备领域已经有较好的应用。在半导体前道设备所需的控制、伺服驱动与系统相关的技术、产品，公司一直在持续进行研究、迭代与应用推广；公司于23年上半年有获批一项关于半导体设备运动轨迹规划的专利《光刻机运动轨迹规划方法、装置、计算机设备和存储介质》。公司认为，未来五到十年内是整个半导体设备，特别是半导体设备内的部件与系统战略机遇期，公司期待在此大背景下更好的发展，能支持产业的健康发展，回报社会与股东。
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